1、精密滤芯。精密滤芯又可以称作为过滤滤芯，主要是用来去除水中的泥沙，大颗粒物质，悬浮物等，过滤的精度有5um和1um。新的滤芯是白色的，随着使用时间而变黑了。滤芯是一次性的，不能重复使用，要定期更换滤芯。可以根据原水的情况来跟换滤芯，水质的情况好，可以使用的时间长点，水质不好，使用的时间短点。
2、活性炭过滤芯。主要是起到吸附的作用，用来去除水中的异味和余氯，重金属脱色。余氯对于后面的反渗透膜氧化性比较强，必须要去出水中的余氯，那就必须使用活性炭去除掉。大约为一年左右更换一次的。
3、反渗透膜。反渗透膜是实验室超纯水机的核心部件，是一张孔径很小的半透明膜。反渗透膜能够去除肉眼看不到的细菌，病毒以及胶体等物质。具有自动冲洗功能，是用来清除反渗透膜上面的污物。
4、纯化柱。纯化柱的主要作用是用来对反渗透之后的纯水进行进一步的深度脱盐，其原理是离子交换。纯化柱的使用寿命可以根据电导率很直观的判定。低于特定的值，就说明该更换纯化柱了。
5、用水。以自来水为水源的实验室超纯水机会有两个出口，分别出三级水和一级水。一级水的成本比三级水的成本高，能够使用三级水尽量不去使用一级水。一级水是通过了纯化柱，而三级水却没有。