洁净室静电的危害和消除静电的方法

A、静电的危害

1、静电产生电场能击穿电子和微电子产品；静电放电产生电磁波会引起电子仪器的吴动作，放电产生火花可使感光材料曝光。

2、洁净室的静电聚集放电会诱发引起火灾和爆炸，影响洁净室的安全。因为洁净室内生产会使用大量的易燃易爆的气体、溶剂和有机物，洁净室封闭性很强，人员疏散较困难，若造成火灾，损失更大。

B、静电的起因

由于某种原因引起电荷移动，正负电荷失去平衡，这样物体就带有静电，造成电荷移动的因素主要有：（1）接触带电：其中还包括有摩擦带电、滚动带电、剥离带电、喷射带电等；（2）感应带电；（3）流动带电；（4）电晕带电。

C、防静电措施

1.1洁净室围护的防静电。即用高导电材料来建造洁净室的围护（墙、顶、地）。地面要采用电阻值为104~106Ω导静电材料或电阻值为106~109的抗静电材料制作，并要有良好的接地。墙和顶要采用表面电阻值为106~108的铝蜂窝或岩棉彩钢板等金属材料制作，并要有良好的接地。

1.2人员的防静电。洁净室的作业人员要穿防静电的洁净工作服，在衣服的织物中加入金属纤维、碳素纤维等导电材料。必要时作业人员手腕上佩戴接地腕环。

1.3生产工艺允许时，还可以用提高洁净室内空气的相对湿度的办法，来消除静电。