1. 原理及工作流程

　　超纯水设备则采用更为复杂的技术，其一般流程包括预处理、反渗透、去离子过程和电去离子。相较于去离子水设备，超纯水设备去除了水中几乎所有的杂质，包括非离子物质和微生物。

　　2. 特点与优势

　　超纯水的电导率一般低于0.1μS/cm，极高的水质净化能力使其在对水质要求极为苛刻的领域中必须使用。虽然超纯水设备的投资和运营成本较高，但其卓越的水质保证了在高精度分析中的可靠性。

　　3. 应用领域

　　超纯水设备的主要应用包括：

　　- 半导体制造：用作清洗和溶液准备，尤其是在晶圆制造中。

　　- 制药工业：用于制备注射用水和其他医用制剂。

　　- 实验室研究：用于各类高精度实验的溶剂。